金融界2024年9月28日新闻，国度学问产权局音讯显示必一运动广州德芯申请基于挪动磁场的磁控溅射镀膜专利降低坐褥结果，广州德芯半导体科技有限公司申请一项名为“基于搬动磁场的磁控溅射镀膜办法及筑立”的专利，公然号 CN 118703956 A，申请日期为 2024 年 7 月必一运动。
专利摘要显示，本发觉涉及一种基于搬动磁场的磁控溅射镀膜办法及筑立必一运动。其采用圆柱靶材和搬动磁场实行磁控溅射跑道，通过独揽编造独揽所述搬动磁场调度磁力线的交汇位子必一运动，调度所述圆柱靶材的蚀刻跑道，从而调度刻蚀的位子，正在靶材上完成差别位子的镀膜。磁控溅射镀膜筑立蕴涵主机本体必一运动、载物台必一运动、起码两个镀膜室和搬动磁场主机本体上成立独揽编造和电源编造载物台成立正在所述主机本体上；镀膜室分离成立正在所述载物台的周边，每一所述镀膜室内装置两个圆柱靶材；所述搬动磁场成立正在所述载物台上，且所述搬动磁场的转移对象与所述载物台搬动转移对象划一必一运动，通过所述独揽编造独揽运动。本发觉也许提升靶材的使用率，删除转换靶材的韶华，提升出产效力。